采用專有的內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)，充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有 Alicat 質(zhì)量流量計(jì)均具有 NIST 可溯源校準(zhǔn)證書(shū)。

M 系列質(zhì)量流量計(jì)內(nèi)部無(wú)可移動(dòng)組件和熱元件，通過(guò)抗振動(dòng)測(cè)試，對(duì)安裝方向不敏感。

M 系列質(zhì)量流量計(jì)帶有集成式多功能數(shù)字顯示屏，用戶可通多顯示屏按鈕操作在內(nèi)置 98 種標(biāo)準(zhǔn)氣體中進(jìn)行任意切換，同時(shí)開(kāi)放模擬通訊和 RS-232 數(shù)字通訊模式。我們?yōu)橛脩籼峁V泛的定制化服務(wù)以滿足各類特殊的項(xiàng)目需要，如：用于危險(xiǎn)環(huán)境的 ATEX(歐洲) 1 類 2 區(qū)和 CSA(美國(guó))1 類 2 區(qū)認(rèn)證產(chǎn)品等。另有耐腐蝕系列(MS 系列)、低壓損系列(MW 系列)和便攜式系列(MB 系列)質(zhì)量流量計(jì)可選。

如：科學(xué)研究、泄漏測(cè)試、環(huán)境監(jiān)測(cè)、真空鍍膜、半導(dǎo)體、汽車制造、光伏、燃料電池、光纖制造、計(jì)量以及過(guò)程工藝氣體測(cè)量等。多變量測(cè)量、多種氣體標(biāo)定以及 200:1 量程可調(diào)比使得僅用一臺(tái) Alicat 質(zhì)量流量計(jì)便可取代多臺(tái)設(shè)備發(fā)揮的功效。很高可達(dá) 0.4%的精度、0.2%重復(fù)性及不到 10 毫秒的測(cè)量響應(yīng)速度很大程度優(yōu)化了氣體測(cè)量過(guò)程。

M 系列質(zhì)量流量計(jì)可測(cè)量從 0-0.5 SCCM 到 0-4000SLPM 的滿量程的任何流量。

技術(shù)參數(shù)：

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

滿量程范圍：所有氣體為 0.5 SCCM 至 5,000 SLPM（H2 為 10,000 SLPM）

測(cè)量范圍：滿量程的0.01% – 100%

精度：讀數(shù)的 ±0.6% 或滿量程的 ±0.1%，以較大者為準(zhǔn)

可選高精度：讀數(shù)的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%，以較大者為準(zhǔn)

重復(fù)性：讀數(shù)的 0.1% 和滿量程的 0.02%

響應(yīng)時(shí)間：<10毫秒

工作溫度： –10°C 至 +60°C

滿量程工作壓力： 160 PSIA (11 barA)

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